Simulation of mass flux divergence distributions for an evaluation of commercial test structures with tungsten-plugs

verfasst von

Kirsten Weide-Zaage, Verena Hein

Organisationseinheit(en)

Laboratorium f. Informationstechnologie

Externe Organisation(en)

X-FAB Silicon Foundries SE

Typ

Aufsatz in Konferenzband

Seiten

353-358

Anzahl der Seiten

6

Publikationsdatum

2005

Publikationsstatus

Veröffentlicht

Peer-reviewed

Ja

ASJC Scopus Sachgebiete

Allgemeiner Maschinenbau

Elektronische Version(en)

https://doi.org/10.1109/ESIME.2005.1502827 (Zugang: Unbekannt)